国家自然科学基金资助项目(11602169,11702192), 天津市自然科学基金资助项目(16JCQNJC04700),天津市高等学校自然科学研究计划一般项目(2017KJ262)
刘成,冯晶晶,郝淑英,张伟.静电驱动微梁谐振器的厚度形态误差特性分析[J].动力学与控制学报,2020,18(2):35~41; Liu Cheng, Feng Jingjing, Hao Shuying, Zhang Wei. Characteristic analysis of thickness shape error on electrostatic actuation microbeam resonator[J]. Journal of Dynamics and Control,2020,18(2):35-41.
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