首页 > 过刊浏览>2020年第18卷第2期 >2020,18(2):35-41. DOI:10.6052/1672-6553-2019-049
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静电驱动微梁谐振器的厚度形态误差特性分析

Characteristic analysis of thickness shape error on electrostatic actuation microbeam resonator

发布日期:2020-05-07

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